發布日期：2022-04-28 點擊率：34
KLA-Tencor Candela CS20 系列光學表面分析儀 (OSA) 可對半導體與光電子材料進行先進的表面檢測。CS20 系列檢測能夠為硅 (Si)、砷化鎵 (GaAs)、磷化銦 (InP) 等不透明基板，以及碳化硅 (SiC)、氮化鎵 (GaN)、藍寶石和玻璃等透明材料的檢測提供工藝控管和良率改善。
CS20 系列采用光學表面分析(OSA) 專有技術，可同時測量散射強度、形狀變化、表面反射率和相位轉移，為日益增大的特征缺陷 (DOI)進行自動偵測與分類。OSA 檢測技術結合散射測量、橢圓偏光法、反射測量與光學形狀分析等基本原理，以非破壞性方式對硅片表面的殘留異物、表面與表面下缺陷、形狀變化和薄膜厚度均勻性進行檢測。CS20 系列擁有極高的靈敏度、吞吐量和多功能性，適用于工藝開發和生產工藝控管，是一套極具成本效益的解決方案。
