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產(chǎn)品介紹

VYPER 系列激光器是專為準分子激光退火 (ELA) 設計的多光束高功率準分子激光器。高分辨率移動顯示器制造的高質(zhì)量需求需要高品位低溫多晶硅 (LTPS)，該多晶硅 (LTPS) 只能使用準分子激光器制造。

這些激光器非常適合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光學器件。

性能特點

• 非常高的UV 功率，可實現(xiàn)高通量應用

• 能量穩(wěn)定性，確保高產(chǎn)量

• EquiSwitch 同步提供低的抖動

• 激光數(shù)據(jù)采集可實現(xiàn)過程控制

• 密封和凈化的光束路徑，可實現(xiàn)穩(wěn)定的長期運行

• 用于控制和快速數(shù)據(jù)采集的以太網(wǎng)接口

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品應用

準分子激光退火

脈沖激光沉積

詳細參數(shù)

VYPER

TwinVYPER

TriVYPER

產(chǎn)品應用