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石英晶體微天平

石英晶體微天平傳感器:一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器的制作方法

發(fā)布日期:2022-05-18 點(diǎn)擊率:107


石英晶體微天平傳感器:一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器的制作方法

本實(shí)用新型是一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器,屬于科學(xué)檢測儀器領(lǐng)域。
背景技術(shù):
石英晶體微天平是一種能夠檢測微小質(zhì)量變化的分析儀器。以特定的石英晶體振蕩器為換能器件,與在其上附著的敏感材料構(gòu)成質(zhì)量-頻率敏感元件;被分析物質(zhì)與敏感材料相互作用而引起的質(zhì)量變化即時導(dǎo)致石英晶體頻率變化,通過檢測頻率的變化,實(shí)現(xiàn)微小質(zhì)量的實(shí)時定量檢測分析。在臨床檢驗(yàn)、環(huán)境檢測、食品安全檢測、生命科學(xué)、新藥篩選、材料科學(xué)等領(lǐng)域具有十分廣闊的應(yīng)用前景。
針對氣體檢測對象的石英晶體微天平檢測儀器,其核心部件是裝有石英晶體片的傳感器。然而,現(xiàn)有的石英晶體傳感器安裝和更換石英晶體片操作繁瑣、精細(xì),接觸壓力不易控制,常因產(chǎn)生安裝應(yīng)力導(dǎo)致測定結(jié)果重現(xiàn)性差并影響測量精度,甚至造成石英晶體片的損毀。
在對氣體進(jìn)行采樣時,通常需要進(jìn)行對比采樣以消除系統(tǒng)誤差。現(xiàn)有的方法是采用多個傳感器進(jìn)行平行采樣,此方法的弊端是各傳感器位于各自獨(dú)立系統(tǒng),系統(tǒng)間的時間、物理、化學(xué)等變量的不同步及差異會使檢測結(jié)果產(chǎn)生誤差。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:
針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器,要解決的技術(shù)問題是:第一,使安裝和更換石英晶體片的操作更加方便,并可避免出現(xiàn)安裝應(yīng)力;第二,將測量和參比單元置于同一檢測環(huán)境中,使之可以同步檢測以消除系統(tǒng)誤差提高測量的準(zhǔn)確度。
為實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的,本實(shí)用新型采取如下技術(shù)方案:一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器,包括傳感器殼體和兩個安裝在傳感器殼體內(nèi)的石英晶體片總成,所述傳感器殼體為立方體或其他幾何形狀,該殼體的前面和后面設(shè)置有貫通的氣體通道,該殼體的上面和下面分別對稱設(shè)置石英晶體片總成安裝孔,該安裝孔與氣體通道軸向垂直并通透;所述兩個石英晶體片總成具有相同結(jié)構(gòu),分別為檢測單元總成和參比單元總成,所述兩個具有相同結(jié)構(gòu)的石英晶體片總成的一端為插接端,該插接端與傳感器殼體的石英晶體片總成安裝孔配合,在該插接端設(shè)置有石英晶體片插件,所述兩個具有相同結(jié)構(gòu)的石英晶體片總成的另一端設(shè)置有電磁輻射屏蔽引線接口。
本實(shí)用新型的有益效果是:第一,避免了對細(xì)小而脆弱的石英晶體片單體進(jìn)行直接安裝操作,以石英晶體片總成的方式進(jìn)行安裝,既使安裝操作簡單快速,又避免了因產(chǎn)生安裝應(yīng)力導(dǎo)致測定結(jié)果重現(xiàn)性差并影響測量精度,也解決了因操作不當(dāng)導(dǎo)致的石英晶體片損毀。第二,采用在同一氣體通道內(nèi)平行對稱設(shè)置兩片石英晶體片,分別做為檢測單元和參比單元,使兩個測量單元處于同一檢測環(huán)境中,避免了各石英晶體片位于各自獨(dú)立的傳感器系統(tǒng)中,因各系統(tǒng)間的時間、物理、化學(xué)等變量的不同步及差異使檢測結(jié)果產(chǎn)生誤差。
附圖說明
圖1是本實(shí)用新型的整體軸測圖,圖2是本實(shí)用新型的內(nèi)部結(jié)構(gòu)剖視圖,圖3是本實(shí)用新型的各部件分解圖。圖中,1.傳感器殼體,2.檢測單元總成,2-1石英晶體片插件a,3.參比單元總成,3-1石英晶體片插件b,4.電磁輻射屏蔽引線接口,5.氣體通道,6.石英晶體片總成安裝孔。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明。
實(shí)施例1:如圖1至圖3所示,一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器,包括傳感器殼體和兩個石英晶體片總成,所述傳感器殼體1為立方體,該傳感器殼體1的前面和后面設(shè)置貫通的氣體通道5,該傳感器殼體1的上面和下面分別對稱設(shè)置石英晶體片總成安裝孔6,該安裝孔6與氣體通道5軸向垂直并通透;所述兩個石英晶體片總成具有相同結(jié)構(gòu),分別為檢測單元總成2和參比單元總成3,所述檢測單元總成2和參比單元總成3的一端為插接端,該插接端與傳感器殼體1的石英晶體片總成安裝孔6配合,在該插接端設(shè)置有石英晶體片插件a2-1和石英晶體片插件b3-1,所述檢測單元總成2和參比單元總成3的另一端設(shè)置有電磁輻射屏蔽引線接口4。
本實(shí)用新型一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器的安裝操作步驟:將石英晶體片插件a2-1和石英晶體片插件b3-1,分別安裝于檢測單元總成2和參比單元總成3,將檢測單元總成2和參比單元總成3固定在傳感器殼體1的石英晶體片總成安裝孔6,連線與電磁輻射屏蔽引線接口4連接,使氣體經(jīng)過檢測通道5。
完成上述安裝并檢查無誤即可引入試樣:使氣體經(jīng)過檢測通道5即可。
技術(shù)特征:
1.一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器,包括傳感器殼體和兩個石英晶體片總成,其特征是,所述傳感器殼體(1)為立方體幾何形狀,該傳感器殼體(1)的前面和后面設(shè)置貫通的氣體通道(5),該傳感器殼體(1)的上面和下面分別對稱設(shè)置石英晶體片總成安裝孔(6),該安裝孔(6)與氣體通道(5)軸向垂直并通透;所述兩個石英晶體片總成具有相同結(jié)構(gòu),分別為檢測單元總成(2)和參比單元總成(3),所述檢測單元總成(2)和參比單元總成(3)的一端為插接端,該插接端與傳感器殼體(1)的石英晶體片總成安裝孔(6)配合,在該插接端設(shè)置有石英晶體片插件a(2-1)和石英晶體片插件b(3-1),所述檢測單元總成(2)和參比單元總成(3)的另一端設(shè)置有電磁輻射屏蔽引線接口(4)。
技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器,屬于科學(xué)檢測儀器領(lǐng)域。它包括傳感器殼體和兩個石英晶體片總成,所述傳感器殼體為立方體,該殼體設(shè)置有貫通的氣體通道和分別對稱設(shè)置石英晶體片總成安裝孔,該安裝孔與氣體通道軸向垂直并通透;所述兩個石英晶體片總成具有相同結(jié)構(gòu),其一端為插接端,該插接端與傳感器殼體的石英晶體片總成安裝孔配合,在該插接端設(shè)置有石英晶體片插件,其另一端設(shè)置有電磁輻射屏蔽引線接口。本實(shí)用新型使安裝和更換石英晶體片的操作更加方便,并可避免出現(xiàn)安裝應(yīng)力;使兩個測量單元處于同一檢測環(huán)境中,使之可以同步檢測以消除系統(tǒng)誤差提高測量的準(zhǔn)確度。
技術(shù)研發(fā)人員:封雷;崔學(xué)晨;崔實(shí);許文儉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:崔學(xué)晨
技術(shù)研發(fā)日:2019.09.23
技術(shù)公布日:2020.04.28
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石英晶體微天平
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石英晶體微天平(Quartz Crystal Microbalance,QCM)的發(fā)展始于上世紀(jì)60年代初期,它是一種非常靈敏的質(zhì)量檢測儀器,其測量精度可達(dá)納克級,比靈敏度在微克級的電子微天平高1000 倍,理論上可以測到的質(zhì)量變化相當(dāng)于單分子層或原子層的幾分之一。石英晶體微天平利用了石英晶體的壓電效應(yīng),將石英晶體電極表面質(zhì)量變化轉(zhuǎn)化為石英晶體振蕩電路輸出電信號的頻率變化,進(jìn)而通過計(jì)算機(jī)等其他輔助設(shè)備獲得高精度的數(shù)據(jù)。
中文名
石英晶體微天平
外文名
Quartz Crystal Microbalance
目錄
1
基本原理
2
主要構(gòu)造及應(yīng)用
3
應(yīng)用及展望
石英晶體微天平基本原理
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石英晶體微天平最基本的原理是利用了石英晶體的壓電效應(yīng):石英晶體內(nèi)部每個晶格在不受外力作用時呈正六邊形,若在晶片的兩側(cè)施加機(jī)械壓力,會使晶格的電荷中心發(fā)生偏移而極化,則在晶片相應(yīng)的方向上將產(chǎn)生電場;反之,若在石英晶體的兩個電極上加一電場,晶片就會產(chǎn)生機(jī)械形變,這種物理現(xiàn)象稱為壓電效應(yīng)。如果在晶片的兩極上加交變電壓,晶片就會產(chǎn)生機(jī)械振動,同時晶片的機(jī)械振動又會產(chǎn)生交變電場。在一般情況下,晶片機(jī)械振動的振幅和交變電場的振幅非常微小,但當(dāng)外加交變電壓的頻率為某一特定值時,振幅明顯加大,這種現(xiàn)象稱為壓電諧振。它其實(shí)與LC振蕩電路的諧振現(xiàn)象十分相似:當(dāng)晶體不振動時,可把它看成一個平板電容器稱為靜電電容C,一般約幾個皮法到幾十皮法;當(dāng)晶體振蕩時,機(jī)械振動的慣性可用電感L來等效,一般值為幾十毫亨利到幾百毫亨利。由此就構(gòu)成了石英晶體微天平的振蕩器,電路的振蕩頻率等于石英晶體振蕩片的諧振頻率,再通過主機(jī)將測得的諧振頻率收集并轉(zhuǎn)化為電信號輸出。由于晶片本身的諧振頻率基本上只與晶片的切割方式、幾何形狀、尺寸有關(guān),而且可以做得精確,因此利用石英諧振器組成的振蕩電路可獲得很高的頻率穩(wěn)定度。1959 年德國科學(xué)家G. Sauerbrey 研究發(fā)現(xiàn),如果在晶體表面上鍍一層薄膜,則晶體的振動就會減弱,而且還發(fā)現(xiàn)這種振動或者頻率的減少是由薄膜的厚度和密度決定的。在假定外加持量均勻剛性地附著于QCM 的金電極表面的條件下,得出了QCM 的諧振頻率變化與外加質(zhì)量成正比的結(jié)論。通過Sauerbrey方程,吸附在晶體傳感器上的物質(zhì)質(zhì)量就可以和頻率的改變建立以下關(guān)系:
對于剛性吸附沉積,晶體振蕩頻率變化△f正比于工作電極上沉積物的質(zhì)量改變△m。其中f0是指芯片固有的振蕩頻率,A和m是電極的有效工作面積和質(zhì)量,ρq和μq是石英晶體的密度和剪切模量。Sauerbrey方程對于表面吸附的物質(zhì)給予了直觀的參考。由于芯片的基頻,工作面積,密度和剪切模量都是已知值,方程可以直接算出吸附的質(zhì)量。然而該方程設(shè)計(jì)的初衷是計(jì)算芯片在空氣中的振蕩,并且吸附的物質(zhì)是剛性的。所以當(dāng)粘彈性物質(zhì)在液體中吸附在芯片表面時該方程會給出較大的誤差值。原因是由于吸附物質(zhì)的粘彈性會導(dǎo)致部分頻率的衰減,而測量得到的頻率值的改變則是質(zhì)量和吸附膜的粘彈性共同作用而成。而通過Kelvin-Voigt模型,粘彈性物質(zhì)的吸附量則可以被準(zhǔn)確的計(jì)算出來。該模型由粘壺和胡克彈性彈簧并聯(lián)組成,可以用來分析聚合物等的蠕變行為。簡單的,該模型可以如下表達(dá):
G1是儲能模量,G2是損耗模量,j代表虛部。通過該公式衍生出來的石英晶體微天平耗散技術(shù)(Quartz Crystal Microbalanc with Dissipation,QCM-D)可以精確的給出由耗散導(dǎo)致的頻率損失,從而可以進(jìn)一步了解材料內(nèi)部性質(zhì)。耗散型石英晶體微天平可以同時測量石英晶體頻率和耗散值的改變。耗散因子(D)是指當(dāng)驅(qū)動石英晶體振蕩的電路斷開后,晶體頻率降低到0的時間快慢。D值可以從以下方程得到:
是指晶體在一次振蕩周期中能量損耗,
是指晶體在一次振蕩周期中存儲的全部能量。
石英晶體微天平主要構(gòu)造及應(yīng)用
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語音
石英晶體微天平芯片
不同功能的QCM樣品池
QCM 主要由石英晶體傳感器、信號收集、信號檢測和數(shù)據(jù)處理等部分組成。石英晶體傳感器則是其最核心的構(gòu)件,其基本構(gòu)造是:從一塊石英晶體上沿著與石英晶體主光軸成35°15'切割(AT-CUT)得到石英晶體振蕩片。在它的兩個對應(yīng)面上涂敷金層作為電極,石英晶體夾在兩片電極中間形成三明治結(jié)構(gòu)。根據(jù)需要,還可以在金屬電極上有選擇地鍍膜來進(jìn)一步拓寬其應(yīng)用。例如,在電極表面加一層具有選擇性的吸附膜,可用來探測氣體的化學(xué)成分或監(jiān)測化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行情況;不同金屬及金屬氧/氮化物鍍膜,以及合金鍍層可用來進(jìn)行金屬腐蝕性能和人工關(guān)節(jié)的排異反應(yīng)研究。而表面修飾生物材料如多肽,生物素等可以讓QCM作為基因傳感器在生物領(lǐng)域的有著廣闊應(yīng)用。隨著科技日新月異的發(fā)展,QCM儀器也進(jìn)行了大幅的更新。而與其他儀器的聯(lián)用使得QCM在更多領(lǐng)域發(fā)揮其特長。傳統(tǒng)的QCM儀器流動樣品池可以進(jìn)行水相/油相等液相實(shí)驗(yàn);新式的窗口流動池可以與光學(xué)顯微鏡聯(lián)合,同時觀測諸如細(xì)胞等在芯片表面繁殖的過程;電化學(xué)樣品池可以實(shí)時檢測吸附樣品阻抗等電化學(xué)性質(zhì)的變化;光學(xué)樣品池可以讓光化學(xué)反應(yīng)實(shí)驗(yàn)在QCM儀器上變?yōu)榭赡埽欢鴻E偏樣品池,基于橢偏儀原理,可以精確的測量吸附層的含水量。石英晶體微天平的其他組成結(jié)構(gòu)在不同型號和規(guī)格的儀器中也不盡相同,可根據(jù)測量需要選用或聯(lián)用。一般附屬結(jié)構(gòu)還包括振蕩線路、頻率計(jì)數(shù)器、計(jì)算機(jī)系統(tǒng)等;另外經(jīng)常加裝一些輔助輸出設(shè)備,例如顯示器、打印機(jī)等。
石英晶體微天平應(yīng)用及展望
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QCM作為微質(zhì)量傳感器具有結(jié)構(gòu)簡單、成本低、靈敏度高、測量精度可以達(dá)到納克量級的優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于化學(xué)、物理、生物、醫(yī)學(xué)和表面科學(xué)等領(lǐng)域中,用以進(jìn)行氣體、液體的成分分析以及微質(zhì)量的測量、薄膜厚度及粘彈性結(jié)構(gòu)檢測等。它的在線跟蹤檢測微觀過程的變化,獲取豐富的在線信息的優(yōu)點(diǎn),是其他方法無法比擬的。這項(xiàng)技術(shù)以其簡便、快捷、靈敏度高、在線跟蹤等優(yōu)勢,必將與其他技術(shù)結(jié)合成為微觀過程與作用機(jī)理研究,微量、痕量物質(zhì)的檢測等方面十分有效的手段,獲得廣泛應(yīng)用。B
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石英晶體微天平傳感器:一種用于氣體檢測的石英晶體微天平傳感器的制作方法  第2張

石英晶體微天平傳感器:石英晶體微天平傳感器及其在生物檢測中應(yīng)用的研究進(jìn)展

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石英晶體微天平傳感器:石英晶體微天平傳感器的膜厚敏感性

摘要:

近幾年,石英晶體微天平(QCM)作為一種簡易,靈敏的實(shí)時監(jiān)測手段,廣泛地應(yīng)用于研究生物活性分子之間的相互作用,其中包括蛋白質(zhì)吸附動力學(xué),抗原/抗體相互作用,DNA雜交,適配體-蛋白相互作用等領(lǐng)域.但是QCM作為商業(yè)化的生物傳感器一直發(fā)展不順利.主要因?yàn)镼CM在液態(tài)環(huán)境中的非理想行為導(dǎo)致了對QCM數(shù)據(jù)分析困難.我們利用阻抗分析法對QCM的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,分離出質(zhì)量和粘彈性兩種因素引起的頻率改變,解決粘彈性的困擾問題.同時,我們提出了"固化水層"模型,合理地處理了溶劑的影響.在該模型的基礎(chǔ)上發(fā)展了一種基于QCM的分子尺技術(shù),該技術(shù)能夠簡便,有效地測量出固定在固-液界面的生物大分子的納米尺寸.我們的主要工作是將"固化水層"模型拓展到三維結(jié)構(gòu)的高分子基質(zhì)中.我們聯(lián)合QCM和表面等離子共振(SPR)技術(shù)研究基于高分子基質(zhì)的蛋白質(zhì)的固定,抗原/抗體識別的過程,進(jìn)一步采用"固化水層"模型解釋高分子的溶脹行為,羧基活化,抗體固定,抗原,抗體識別等過程.理論分析表明,結(jié)合生物分子勢必排出相同體積的溶劑,由于溶劑的密度接近于蛋白質(zhì)溶液的密度.從而導(dǎo)致"固化水層"質(zhì)量增加不明顯.實(shí)驗(yàn)上也證實(shí)了石英晶體微天平的響應(yīng)主要取決于"固化水層"的厚度變化(T2-T1),而并非固定的生物分子的質(zhì)量.我們利用QCM實(shí)時監(jiān)測在高分子基質(zhì)中IgG的固定以及IgG與anti-IgG識別的過程,并將石英晶體微天平監(jiān)測的頻率變化與相應(yīng)的厚度變化直接關(guān)聯(lián).這一方法的建立在一定的應(yīng)用范圍內(nèi)簡化了QCM的定量分析模型,有望實(shí)現(xiàn)QCM作為傳感器在界面物理與化學(xué)等相關(guān)領(lǐng)域研究中的應(yīng)用.

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