發布日期：2022-10-09 點擊率：54
產品型號：IPEX-800 Series
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關鍵字描述：
產品介紹：
IPEX 系列激光器專為制造環境中的高占空比操作而設計，可提供高功率紫外激光加工和性能。IPEX 激光器采用LightMachinery的exciPure 技術，可提供超長的氣體壽命、光學穩定性和對激光器工作參數的控制。操作準分子激光器的單一成本是激光氣體消耗（也稱為動態氣體壽命）。憑借exciPure 技術，LightMachinery 的氣體使用量比競爭激光器提高了10 倍。這一技術突破大大降低了運行激光器的成本。安裝在光學端口上的 EasyClean自動閥允許密封激光室并保留氣體填充/鈍化，同時移除諧振器光學器件進行清潔和維護。IPEX-800 激光器易于使用、維修簡單且操作經濟，結合了高精度準分子加工的優勢、當今市場上的總擁有成本和正常運行時間。上面顯示的陶瓷標記是這些多功能工業工具的眾多應用之一。
特征
exciPure 技術可實現令人難以置信的 10 倍氣體壽命和運行成本
無需昂貴的低溫氣體凈化器
EasyClean 自動光學密封件可保持氣體填充并減少停機時間
光學維護
可選的高亮度光學元件，適用于需要低光束發散或延長相干長度的應用
高穩定性光學安裝座可實現光束指向精度
簡單集成到工業處理系統中
優勢
延長氣體壽命、長更換間隔、低運行成本
簡化光學維護，保留氣體填充和鈍化
提供200微弧度的指向穩定性
清潔或更換光學元件后無需重新校準
內部、突發和外部觸發模式下的快速、準確的能量穩定
優異的能量穩定性，優于1.0% (KrF)
去除微粒并保持光學元件清潔度
應用
24/7 脈沖激光沉積
精密制造
材料加工
鉆孔
剝線
科學研究
激光雷達
激光誘導擊穿光譜
參數：
波長 | 193nm ArF | 248nm KrF | 308 XeCl | 351 XeF |
脈沖能量max. (mJ) IPEX-840 | 230 | 450 | 300 | 275 |
脈沖能量max. (mJ) IPEX-860 | 250 | 700 | 600 | 350 |
穩定脈沖能量 (mJ) IPEX-840 | 150 | 400 | 250 | 225 |
穩定脈沖能量 (mJ) IPEX-840 | 200 | 600 | 500 | 300 |
穩定平均功率 (W)
IPEX-848 | 30 | 80 | 50 | 45 |
IPEX-846 | 15 | 40 | 25 | 22 |
IPEX-844 | 6.0 | 20 | 12 | 11 |
IPEX-842 | 3.0 | 10 | 6.0 | 5.5 |
IPEX-868 | 20 | 60 | 50 | 30 |
IPEX-866 | 10 | 30 | 25 | 15 |
IPEX-864 | 5.0 | 18 | 10 | 9 |
IPEX-862 | 2.5 | 9.0 | 5.0 | 4.5 |
重復頻率max. (Hz)
IPEX-848 | 200 | 200 | 200 | 200 |
IPEX-846 | 100 | 100 | 100 | 100 |
IPEX-844 | 40 | 50 | 50 | 50 |
IPEX-842 | 20 | 25 | 25 | 25 |
IPEX-868 | 100 | 100 | 100 | 100 |
IPEX-866 | 50 | 50 | 50 | 50 |
IPEX-864 | 25 | 30 | 20 | 30 |
IPEX-862 | 12 | 15 | 10 | 15 |
脈沖持續時間：12 至 20 ns FWHM
能量穩定性，1 Sigma：1% (KrF)
光束尺寸 (mm) (V x H)：IPEX-740 系列 12 x 26
光束尺寸 (mm) (V x H)：IPEX-760 系列 12 x 28
光束發散度 (mrad) (V x H)：1 x 3 或者可以使用高亮度不穩定諧振器光學器件降低到 0.25mrad
電源要求：單相，200 - 240 V 50/60Hz； 8x6:2.5kW, 8x4:1.5kW。8x2:1kW
冷卻要求：可選空氣冷卻至 25Hz 操作，水冷以更高的重復率
激光氣體：預混或單個氣瓶
重量：8x8 型號 400kg，8x6/8x4/8x2 型號：380kg
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