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　　1、降低接口溫度、離子源溫度、四極桿溫度（以四極桿質譜儀為例），關閉質譜儀電源。
　　2、打開卸壓閥，緩慢卸壓到常壓。
　　3、打開離子源艙門（此步驟開始佩帶口罩以及不掉毛手套）。
　　4、使用專用工具按照拆卸步驟將離子源整體取出放置在的清洗臺面。
　　5、使用專用工具將離子源各部件一一拆開，分類整齊放置在清洗臺面，不需要拋光打磨的部件（如加熱快、絕緣體等）分開放置。（此后可脫掉手套）
　　6、將一定量的專用氧化鋁粉放入100ml燒杯中，加入甲醇，剛好覆蓋為好。
　　7、使用專用棉簽蘸上濕潤的氧化鋁粉輕輕打磨推斥極、離子源體、透鏡等金屬部件，直至光亮為止，注意不要過于用力造成部件表面出現明顯劃痕。
　　8、可先使用自來水沖洗打磨部件，再使用甲醇將氧化鋁粉充分沖洗干凈。
　　9、將離子源所有部件（除了燈絲、加熱電纜等外）放置于適當燒杯中，加入甲醇蓋過，超聲5~10分鐘。
　　10、超聲后換一個燒杯放置部件，然后在烘箱中70度烘烤30分鐘，待完全干燥后冷卻至室溫。
　　11、（佩帶潔凈不起毛手套）將干燥并冷卻后的部件放置到一塊新的潔凈無紡布上面，分類放置。
　　12、使用專用工具將各部將一一組裝起來。
　　13、將組裝好的離子源安裝到質譜儀上。