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　　真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。
　　一、渦旋式真空泵的基本特點
　　渦旋式真空泵由渦旋式壓縮機演變而來，機構(gòu)原理早由法國人Cruex于1905年發(fā)明，但受限于當(dāng)時的工藝技術(shù)并未應(yīng)用于實際，直到上世紀(jì)80年代前后才應(yīng)用于真空技術(shù)領(lǐng)域。其結(jié)構(gòu)簡單，零部件少；間隙小、泄漏率小，具有較高的壓縮比，在較寬壓力范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速；并且其壓縮腔內(nèi)容積的變化是連續(xù)的，因而驅(qū)動力矩變化小，功率變化小；振動噪聲小，無需冷卻水與潤滑油，維護簡單，可靠性高。
　　由于渦旋式真空泵自身型線的特點，一般情況下，渦旋式真空泵泵的抽速不超過1000L/min；抽速大于4L/s的渦旋泵一般采用雙側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，而抽速小于4L/s的則多采用單側(cè)渦旋結(jié)構(gòu)，極限真空在1Pa左右。
　　二、渦旋式真空泵的工作原理
　　渦旋真空泵的工作腔是由一對型線共軛的渦旋盤副嚙合安裝組成。渦旋盤就是在盤面開有一個或幾個漸開線螺旋槽的渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)體。一個靜渦旋盤與一個動渦旋盤相互交錯組裝在一起，動、靜盤之間由防自轉(zhuǎn)機構(gòu)保證180°相位差，這樣組成的一對渦旋盤副構(gòu)成了無油渦旋真空泵的抽氣機構(gòu)。
　　靜渦旋盤與動渦旋盤彼此之間在幾條直線（在橫截面上是幾個點）上接觸形成幾對月牙形封閉腔，動渦旋盤在曲軸的驅(qū)動下繞靜渦旋盤的渦旋體中心運動，接觸點沿渦旋曲面移動實現(xiàn)吸氣、壓縮與排氣。
　　在電機的帶動下，曲軸每轉(zhuǎn)一圈，就有一組新的月牙封閉腔形成，從而實現(xiàn)渦旋真空泵的吸氣、壓縮、排氣循環(huán)，對被抽氣體形成包容和強制輸送。
　　通過動圖我們可以更直觀的了解渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子的運行模式。
　　三、渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)特點
　　渦旋式真空泵的結(jié)構(gòu)簡單，主要由5個部件組成
　　①動靜渦旋盤副與基座；②曲軸；③密封件；④防自轉(zhuǎn)機構(gòu)；⑤電機渦旋真空泵結(jié)構(gòu)
　　渦旋式真空泵的主要運動件只有動渦旋盤，動力傳遞簡單，相同尺寸下運動半徑小，所以其具備了結(jié)構(gòu)簡單緊湊、運行平穩(wěn)，幾乎無磨損，消耗功率小等特點，這是其他類型的干式真空泵所不具備的。
　　渦旋式真空泵抽速較小，同時也不適宜用于有毒、易燃易爆氣體、腐蝕性氣體及藥品、溶劑、粉狀體等介質(zhì)工況環(huán)境。因此目前渦旋式真空泵較多應(yīng)用于分析儀器、半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)線、液晶顯示器生產(chǎn)線和科研設(shè)備上。因其可以直接在大氣壓下啟動，很多時候作為分子泵與小型低溫泵的前級泵出現(xiàn)。

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