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    電子能譜儀是利用光電效應測出光電子的動能及其數量的關系從而推算出樣品表面各種元素含量的儀器。廣泛應用于表面化學分析、分子結構、催化劑、新材料等研究領域。
    電子能譜儀的優點：
    （1）分析速度快 能譜儀可以同時接受和檢測所有不同能量的X射線光子信號，故可在幾分鐘內分析和確定樣品中含有的所有元素，帶鈹窗口的探測器可探測的元素范圍為11Na~92U,20世紀80年代推向市場的新型窗口材料可使能譜儀能夠分析Be以上的輕元素，探測元素的范圍為4Be~92U.
    （2）靈敏度高 X射線收集立體角大。由于能譜儀中Si（Li）探頭可以放在離發射源很近的地方（10㎝左右），無需經過晶體衍射，信號強度幾乎沒有損失，所以靈敏度高（可達104cps/nA,入射電子束單位強度所產生的X射線計數率）。此外，能譜儀可在低入射電子束流（10-11A）條件下工作，這有利于提高分析的空間分辨率。
    （3）譜線重復性好。由于能譜儀沒有運動部件，穩定性好，且沒有聚焦要求，所以譜線峰值位置的重復性好且不存在失焦問題，適合于比較粗糙表面的分析工作。
    電子能譜儀的缺點：
    （1）能量分辨率低，峰背比低。由于能譜儀的探頭直接對著樣品，所以由背散射電子或X射線所激發產生的熒光X射線信號也被同時檢測到，從而使得Si（Li）檢測器檢測到的特征譜線在強度提高的同時，背底也相應提高，譜線的重疊現象嚴重。故儀器分辨不同能量特征X射線的能力變差。能譜儀的能量分辨率（130eV）比波譜儀的能量分辨率（5eV）低。
    （2）工作條件要求嚴格。Si（Li）探頭必須始終保持在液氦冷卻的低溫狀態，即使是在不工作時也不能中斷，否則晶體內Li的濃度分布狀態就會因擴散而變化，導致探頭功能下降甚至完全被破壞。