半導體集成電路從誕生到現(xiàn)在才二十余年的歷史。二十余年來，集成電路持續(xù)高速的發(fā)展在人類科學技術發(fā)展史上足空前蛔。在—塊硅片上器件集成的密度基本上是以每年翻一番的速率增長，使集成電路經(jīng)歷了小規(guī)模集成電路，中規(guī)模集成電路和大規(guī)模集成電路的發(fā)展階段，目前發(fā)展到超大規(guī)模階段并正向著甚大規(guī)模集成電路的方向發(fā)展。大規(guī)模集成電路的發(fā)展和成熟，提供了大量價格便宜、使用方便的微處理器電路和存儲器電路。用它們構成的微型計算機系統(tǒng)的功能。已經(jīng)超過十幾年前的“大型”電子管或晶體管計算機的水平，而價格卻已下降到一般家庭都能負擔得起的程度。這一發(fā)展現(xiàn)實，在八十年代引起了一場計算機應用革命，它表現(xiàn)在：計算機在企業(yè)管理、辦公室的信息和文字處理、信息交換等方面的普及應用，它也表現(xiàn)在：計算機系統(tǒng)在軍事技術、工業(yè)自功化、機器人技術、傳感器技術自動測量和過程控制等方面的廣泛用。
大規(guī)模集成電路的發(fā)展，無論是大規(guī)模集成電路本身的技術進步還是由它引起的計算機應用革命，都對傳感器的發(fā)展起了巨大的促進作用，這主要表現(xiàn)在以下幾個方面：功能強而價格低的計算機系統(tǒng)在各方面的廣泛使用，特別在工業(yè)自動控制、機器人技術和自動撿測等方面的應用，要求有大量精度高、尺寸小和價格便宜的傳感器與之相適應。另外，在這些應用中，計算機往往要直接接收從傳感器輸出的信號，這就要求傳感器的輸出直接是電學量。原來占主導地位的結構型傳感器就顯得不能適應，促使了傳感器向固體化、半導體化和集成化方向的發(fā)展。
集成電路的發(fā)展為創(chuàng)造傳感器提供了許多成熟的材料。特別是半導體硅材料已能較自由地為人們所利用，它有許多適宜制造傳感器的性質，并制成了實用的傳感器。利用硅材料制作的半導體傳感器，除了具有固體傳感器的一般優(yōu)點外，它還可以把一些集成電路與傳感器制作在一起，構成所謂的傳感器集成電路，或簡稱為集成傳感器。除了硅之外，半導體也是制作傳感器很有發(fā)展前額材料。
由上述幾點可見，集成電路的大規(guī)模化不僅對傳感器提出了集成化的要求，也為傳感器的集成化提供了應用基礎和技術基礎。反之，集成傳感器的發(fā)展使大規(guī)模集成電路能更好地發(fā)揮出它的超越他，因而也促進了大規(guī)模集成電路的發(fā)展。
