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    超高真空系統(tǒng)大小及內(nèi)部結(jié)構(gòu)千差萬別，很難用統(tǒng)一的烘烤程序滿足各種不同用戶的要求。用戶首次進(jìn)行超高真空系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)調(diào)試時(shí)，應(yīng)專門對(duì)系統(tǒng)的烘烤程序進(jìn)行實(shí)驗(yàn)，包括不同的烘烤溫度、烘烤時(shí)間、升溫速率、降溫速率、各部分溫度以及各階段的真空度等參數(shù)，制定合理的烘烤工藝參數(shù)。這里需要指出的是系統(tǒng)加熱烘烤期間，應(yīng)控制升溫速率避免容器內(nèi)壓力過高，以至于超過真空泵最高工作壓力，破壞泵的正常抽氣功能。

    超高真空系統(tǒng)的密封材料是影響烘烤參數(shù)的重要因素，必須引起特別注意，金屬密封出氣速率低，可允許較高的烘烤溫度，但不同熱膨脹系數(shù)的差異在冷卻到室溫時(shí)，可能造成冷漏，對(duì)于一次性使用的密封圈，每次暴露大氣需重新進(jìn)行更換，可重復(fù)使用的金屬密封，由于刀口錯(cuò)位或密封壓力不當(dāng)也容易引起漏氣。橡膠密封墊圈更換方便，但出氣率速大，不允許高溫烘烤，即使采用氟橡膠，仍需維持膠圈在合理的溫度范圍進(jìn)行烘烤。

    為了用橡膠密封圈獲得10^-6Pa或更低的壓力，需采用密封材料暴露在真空部位面積小并焊有水冷管和氟利昂制冷管的氟橡膠密封超高真空法蘭，或采用帶有氟利昂制冷管和雙道氟橡膠密封圈的超高真空法蘭，結(jié)束烘烤等到法蘭冷卻到室溫后通氟利昂制冷，使法蘭溫度降低到-20~-30℃，同時(shí)對(duì)雙道密封圈中間抽真空，可降低密封圈的漏氣及放氣速率。

(慧樸科技，huiputech)