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科普知識
數(shù)據(jù)分類:
位移傳感器

激光位移傳感器在精密測厚中的應(yīng)用

發(fā)布日期:2022-10-09 點擊率:69


本文由環(huán)球電氣之家整理

 

激光三角漫反射位移傳感器用于測厚有顯著長處:
非常小的丈量光斑,是點光面積,如真尚有公司ZLDS10X系列光斑面積約1mm,它比面積型非接觸電容、電渦流傳感器,對被測體面積幾乎無要求,適合丈量非常小面積尺寸厚度;

較遠(yuǎn)的丈量范圍起始間距。它比非接觸電容、
電渦流傳感器起始間距大良多,如真尚有公司ZLDS100激光位移傳感器丈量量程100mm,丈量間距可以達(dá)到1000mm。這樣傳感器可以闊別被測體,免受碰壞,及被測體熱輻射影響;

有很大的丈量范圍,如真尚有公司ZLDS101激光位移傳感器量程達(dá)2000mm,這是其它傳感器很難做到的;

與被測體材料無關(guān),即金屬非金屬體,非透明有漫反射前提表面都能測。

和其它傳感器測厚一樣,要實現(xiàn)精密測厚需要留意以下前提,否則再好的傳感器也測不準(zhǔn):

1、用單激光位移傳感器測厚
被測體放在丈量平臺上,丈量出傳感器到平臺表面間隔,然后再測出
傳感器到被測體表面間距,經(jīng)計算后測出厚度。要求被測體與丈量平臺之間無氣隙,被測體無翹起。這些嚴(yán)格要求只有在離線情況實現(xiàn)。


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2、 雙激光傳感器測厚
在被測體上方和下方各安裝一個激光位移傳感器,被測體厚度D=C-(A+B)。其中,C是兩個傳感器之間間隔,A是上面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間間隔,B是下面?zhèn)鞲衅鞯奖粶y體之間間隔。

在線厚度丈量用這種方法長處是可消除被測體振動對丈量結(jié)果的影響。但同時對傳感器安裝和機能有要求。

保證丈量正確性的前提是:兩個
傳感器發(fā)射光束必需同軸,以及兩個傳感器掃描必需同步。同軸是靠安裝實現(xiàn),而同步要靠選擇有同步端激光傳感器。如真尚有ZLDS10X系列激光位移傳感器都有同步端。

不同步將代來很大誤差:假如被測體存在振動頻率20HZ,振幅1mm,假如信號不同步延遲1ms,那么就會帶來125μm誤差。


安裝使兩個激光同軸,不但確保被測體統(tǒng)一位置上的厚度,同時降低了被測體傾斜帶來的誤差。以被測體運動方向不同軸為例,當(dāng)不同軸1mm,被測體傾斜2°可帶來35μm誤差。

 

 

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